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光学薄膜是利用薄膜对光的作用而工作的一种功能薄膜，光学薄膜在改变光强方面可以实现分光透射、分光反射、分光吸收以及光的减反、增反、分束、高通、低通、窄带滤波等功能。光学薄膜的种类有很多，这些薄膜赋予光学元件各种使用性能，在实现光学仪器的功能和影响光学仪器质量方面起着重要的或者决定性的作用。

光学薄膜制造工艺、光学薄膜器件的质量要素、影响膜层质量的工艺要素等这系列流程的操作过程中会残留赃物、灰尘形成针孔、痕迹等瑕疵，进而影响光学薄膜的性能。