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WDK 白光干涉测量|IFS PLAN APO干涉镜头|专利产品 干涉测量镜头

浏览(394)  发布时间:2015-04-23  来自: 上海测维光电技术有限公司
加工定制:是  品种:其他干涉仪  类型:白光干涉仪  品牌:日本WDK  型号:IFSAPO5X  测量范围:小于一个波长  测量分辨率:2微米  最近工作距离:15(mm)  用途:非接触光学压型测量设备  专利号:201120353670.3 


WDK 白光干涉测量|IFS PLAN APO干涉镜头|专利产品 干涉测量镜头1

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WDK 干涉测量镜头

  • 适合非接触光学压型
  • 可选Michelson (2x and 5x) 镜头
  • F=200mm镜筒远场校正设计

用途:

干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上,通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度,测量精度非常高,在一个波长之内。一束光通过分光镜,可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合,就产生了干涉图案。Michelson镜头拥有更长的工作距离,更宽的视场和更大的焦深。采用F=200mm镜筒的话可将镜头直接装配到C接口相机上。

 

WDK Interferometry Objectives

  • Suitable for Non-Contact Optical Profiling
  • Michelson (2x and 5x)
  • Infinity Corrected F=200mm Tube Lens Design

 

Interferometry objectives are used in non-contact optical profile measurement devices to obtain surface maps and surface measurement parameters. They can be used to examine surface topography with very high precision—to within a fraction of the wavelength of light. In these objectives, a light beam passes through a beamsplitter, which directs the light to both the surface of the sample and a built-in reference mirror. The light reflected from these surfaces recombines and a fringe interference pattern is formed. The Michelson objectives provide comparatively longer working distances, wider fields of view and larger depth of focus, whereas the   the F=200mm tube lens allows these objectives to be integrated to a C-Mount camera.

 

技术参数:

倍率2X5X
NA0.0550.14
W.D(mm)1515
焦点距離(mm)10040
分解能 (µm)52
被写界深度(µm)9114
实视场2/3" Sensor (mm)4.4 x 3.31.76 x 1.32
实视场1/2" Sensor (mm)3.2 x 2.41.28 x 0.96
重量 (g)430450

 

干涉镜头市场价:

IFS APO 2X  105000元/个

IFS APO 5X    63000元/个

 

 



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